Температура мен ылғалдылықты автоматты реттеу
Таза бөлменің температурасы мен ылғалдылығы негізінен технологиялық талаптарға сәйкес анықталады, бірақ технологиялық талаптар орындалған жағдайда адамның жайлылығын ескеру қажет.Ауа тазалығына қойылатын талаптардың жоғарылауымен процесс температура мен ылғалдылыққа көбірек талаптар қоятын үрдіс бар.
Өңдеу дәлдігі барған сайын нәзік болған сайын, температураның ауытқу диапазонына қойылатын талаптар да азайып барады.Мысалы, кең ауқымды интегралды схема өндірісінің литографиялық экспозициялық процесінде диафрагманың материалы ретінде шыны мен кремний пластинаның термиялық кеңею коэффициенті арасындағы айырмашылық кішірек және кішірек болуы талап етіледі.Диаметрі 100 мкм кремний пластинасы температура 1 градусқа көтерілгенде 0,24 мкм сызықтық кеңеюді тудырады.Сондықтан оның тұрақты температурасы ±0,1 градус болуы керек.Сонымен қатар, ылғалдылық мәні әдетте төмен болуы керек, өйткені адам терлегеннен кейін өнім ластанады, әсіресе натрийден қорқатын жартылай өткізгіш цехтар үшін мұндай таза цех 25 градустан аспауы керек.
Шамадан тыс ылғалдылық көбірек проблемаларды тудырады.Салыстырмалы ылғалдылық 55% асқан кезде салқындатқыш су құбырының қабырғасында конденсация пайда болады.Егер ол дәл құрылғыда немесе тізбекте орын алса, ол әртүрлі апаттарды тудырады.Салыстырмалы ылғалдылық 50% болғанда тот басу оңай.Сонымен қатар, ылғалдылық тым жоғары болған кезде кремний пластинкасының бетіндегі шаң ауадағы су молекулалары арқылы бетіне химиялық жолмен адсорбцияланады, оны жою қиын.Салыстырмалы ылғалдылық неғұрлым жоғары болса, адгезияны жою қиынырақ болады, бірақ салыстырмалы ылғалдылық 30%-дан төмен болған кезде бөлшектер де электростатикалық күштің әсерінен бетке оңай адсорбцияланады және жартылай өткізгіштердің көп саны құрылғылар бұзылуға бейім.Кремний пластинасын өндіру үшін ең жақсы температура диапазоны 35~45% құрайды.
